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2019-03-26
MEMS流量傳感器是一種用于檢測液體、氣體等介質的流量參數并將其轉換為其他形式的信號進行輸出的一種檢測用儀器儀表。而歐姆龍獲得專利的緊湊型MEMS流量傳感器（MEMS Flow Sensors）可檢測堵塞的過濾器數據。
歐姆龍家庭MEMS（微機電系統）的流量傳感器包括能夠測量流速和質量流率的運動具有高重復精度的智能緊湊模型。這些傳感器可用于測量1 LPM至50 LPM（升/分鐘）的質量流量。MEMS流量芯片實現了高靈敏度。
D6F-P，D6F-V和D6F-W傳感器采用了粉塵分離系統（DSS），可用于監控風扇性能，檢測計算機和投影儀中堵塞的過濾器，以及商用HVAC系統中的VAV控制。
特性：
由于MEMS技術，尺寸小
流量傳感器，可與大多數醫療，惰性焊接和燃燒氣體一起使用
卓越的可重復性和準確性
應用：
非常適用于堵塞的過濾器檢測和風扇性能監控
獲取過濾器，管道或管道系統后面的空氣速度讀數
專有的MEMS技術
粉塵分離系統使顆粒遠離傳感器芯片
